Ртутные короткодуговые лампы НВО для микролитографии
Обозначение для заказа
|
Номер заказа
|
Род тока
|
Номинальная мощность, Вт
|
Напряжение, В
|
Номинальный ток, А
|
HBO 2500 W/PIL
|
4050300947396
|
DC
|
2500
|
28
|
90
|
HBO 2501 W/NIL
|
4050300947297
|
DC
|
2500
|
23
|
109
|
HBO 2510 W/NIL
|
4050300947433
|
DC
|
2500
|
23
|
109
|
HBO 3500 W/PI 3)
|
4050300947495
|
DC
|
3400
|
23
|
148
|
HBO 3501 W/PI 3)
|
4050300947518
|
DC
|
3400
|
23
|
148
|
О6означение для заказа
|
Сила излучения при 350 … 450 нм
|
Срок службы, ч
|
Форсированное охлаждение 2)
|
Рабочее положение
|
Диаметр d, мм
|
Длина L1 max, мм
|
HBO 2500 W/PIL
|
8200
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 4)
|
62
|
350
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 2501 W/NIL
|
10600
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 5)
|
70
|
367
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 2510 W/NIL
|
7800
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 4)
|
70
|
367
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 3500 W/PI 3)
|
9000
|
850
|
форсированное
|
вертик. 4)
|
77
|
360
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 3501 W/PI 3)
|
9000
|
850
|
форсированное
|
вертик. 4)
|
77
|
360
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
О6означение для заказа
|
Длина L2 max, мм
|
Расстояние а, мм 1)
|
Межэлектродное расстояние, мм
|
Цоколь - катод
|
Цоколь - анод
|
Рис. №
|
HBO 2500 W/PIL
|
315
|
149
|
6,7
|
SFс30-6,5/50
|
SFс30-6/50 6)
|
2
|
HBO 2501 W/NIL
|
327
|
157,75
|
4,5
|
SFс33,5-14/50
|
SFа35,5-12/50 7)
|
1
|
HBO 2510 W/NIL
|
327
|
157,75
|
4,5
|
SF9с27-14/50
|
SFс33,5-12/50 7)
|
4
|
HBO 3500 W/PI 3)
|
322
|
154
|
4,5
|
SFс32,5-6,7/50
|
SFаХ40-6/50 6)
|
3
|
HBO 3501 W/PI 3)
|
322
|
154
|
4,5
|
SFс32,5-6,7/50
|
SFаХ40-6/50 6)
|
3
|
DC = постоянный ток
1) расстояние от основания цоколя до острия анода или катода (в холодном состоянии) 2) максимально допустимая температура цоколя: 200 градусов Цельсия 3) возможна также поставка модели с увеличенным сроком службы - НВО 1500W/PIL, 1500 ч 4) анод вверху 5) анод внизу 6) с электродным радиатором и кабельным вводом (М 10) 7) с кабельным вводом (М 8)
Утилизация: Газоразрядные лампы НВО содержат небольшое количество вредных для окружающей среды веществ (например, ртути), поэтому они должны утилизироваться как специальные отходы.
|
|