Ртутные короткодуговые лампы НВО для микролитографии
Обозначение для заказа
|
Номер заказа
|
Род тока
|
Номинальная мощность, Вт
|
Напряжение, В
|
Номинальный ток, А
|
HBO 2000 W/NIL
|
4050300490212
|
DC
|
1750
|
26
|
67
|
HBO 2001 W/CIL
|
4050300947235
|
DC
|
2000
|
26
|
77
|
HBO 2002 W/MA
|
4050300947259
|
DC
|
2000 5)
|
37
|
54
|
HBO 2002 W/NIL
|
4050300772714
|
DC
|
1750
|
26
|
67
|
HBO 2011 W/NIL
|
4050300947556
|
DC
|
2000
|
25
|
80
|
О6означение для заказа
|
Сила излучения при 350 … 450 нм
|
Срок службы, ч
|
Форсированное охлаждение 2)
|
Рабочее положение
|
Диаметр d, мм
|
Длина L1 max, мм
|
HBO 2000 W/NIL
|
5200
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 5)
|
55
|
251
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 2001 W/CIL
|
6000
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 5)
|
62
|
329
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 2002 W/MA
|
4200
|
1000 3)
|
форсированное
|
вертик. 6)
|
62
|
292
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 2002 W/NIL
|
5100
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 5)
|
55
|
254
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
HBO 2011 W/NIL
|
5700
|
1500
|
форсированное
|
вертик. 5)
|
55
|
256
|
| | |
охлаждение цоколя
| | | |
О6означение для заказа
|
Длина L2 max, мм
|
Расстояние а, мм 1)
|
Межэлектродное расстояние, мм
|
Цоколь - катод
|
Цоколь - анод
|
Рис. №
|
HBO 2000 W/NIL
|
219
|
112
|
4,5
|
SFс27-7/35 8)
|
SFс27-12/35
|
1
|
HBO 2001 W/CIL
|
309
|
149
|
4,5
|
SFа33,5-10/50 7)
|
SF33,5/50 8)
|
2
|
HBO 2002 W/MA
|
272
|
138,5
|
3
|
SFа27-10/35 8)
|
SF27/35 8)
|
3
|
HBO 2002 W/NIL
|
234
|
107,5
|
4,5
|
SFс27-10х1,25/35
|
SFс27-7/35 8)
|
4
|
HBO 2011 W/NIL
|
234
|
107,75
|
4,5
|
SFс27-12х1,5/35
|
SFс27-7/35 8)
|
5
|
DC = постоянный ток
1) расстояние от основания цоколя до острия анода или катода (в холодном состоянии) 2) максимально допустимая температура цоколя: 200 градусов Цельсия 3) в зависимости от режима работы 4) диапазон 1700 … 2400 Вт 5) анод вверху 6) анод внизу 7) с кабельным вводом (М 6) 8) с кабельным вводом (М 8)
|
|