Ртутные короткодуговые лампы НВО для микролитографии
Обозначение для заказа
|
Номер заказа
|
Род тока
|
Номинальная мощность, Вт
|
Напряжение, В
|
Номинальный ток, А
|
Срок службы, ч
|
HBO 1000 W/D
|
4050300288857
|
DC
|
1000
|
37,7
|
26,5
|
1000
|
HBO 1000 W/CEL 3)
|
4050300412627
|
DC
|
750 (700/1000) 2)
|
47
|
16
|
2500
|
HBO 1002 W/CEL 4)
|
4050300412634
|
DC
|
750 (700/1000) 2)
|
47
|
16
|
2500
|
О6означение для заказа
|
Излучение при 350 … 450 нм
|
Сила излучения при 350 … 450 нм
|
Форсированное охлаждение
|
Рабочее положение
|
Диаметр d, мм
|
Длина L1 max, мм
|
HBO 1000 W/D
|
105
|
10800
| |
вертикальн. 5)
|
40
|
240
|
HBO 1000 W/CEL 3)
|
85,4
|
8300
|
конвекция
|
вертикальн. 5)
|
28
|
175
|
HBO 1002 W/CEL 4)
|
85
|
8300
|
конвекция
|
вертикальн. 5)
|
28
|
175
|
О6означение для заказа
|
Длина L2 max, мм
|
Расстояние а, мм
|
Межэлектродное расстояние, мм
|
Цоколь - катод
|
Цоколь - анод
|
Рис. №
|
HBO 1000 W/D
|
208
|
89,5
|
3
|
SFс15-6/25 6)
|
SFс15-6/25 6)
|
1
|
HBO 1000 W/CEL 3)
|
157
|
78,5
|
3
|
SFс15-6/25 6)
|
SХFс15-6/20 7)
|
2
|
HBO 1002 W/CEL 4)
|
157
|
78,5
|
3
|
SХFс15-6/25 7)
|
SFс15-6/20 7)
|
3
|
DC = постоянный ток
1) расстояние от основания цоколя до острия анода или катода (в холодном состоянии) 2) лампа подходит для работы в импульсном режиме в диапазоне от 700 Вт до 1000 Вт; максимально допустимое потребление в режиме постоянной мощности составляет 750 Вт 3) возможна поставка в качестве НВО 1000 W/CL со сроком службы 1500 ч 4) возможна поставка в качестве НВО 1002 W/CL со сроком службы 1500 ч 5) анод внизу 6) с резьбой 8-32 UNC-3 А шестигранный цоколь с резьбовым штырьком М6
|
|